28.99.50.000-00000001 Части оборудования и аппаратуры, исключительно или в основном используемой для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев; части прочего оборудования специального назначения