28.99.20 Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев

28.99.20.000 Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев
28.99.20.110 Оборудование для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур
28.99.20.120 Оборудование химико-литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка
28.99.20.130 Оборудование для ионной имплантации примесей в полупроводниковые пластины
28.99.20.140 Физико-термическое оборудование
28.99.20.150 Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов
28.99.20.160 Оборудование лазерное для обработки полупроводниковых пластин
28.99.20.170 Оборудование для химико-механического утонения, полировки, планаризации, бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин
28.99.20.180 Оборудование для механической резки полупроводниковых слитков (булей) и пластин
28.99.20.190 Оборудование сборочное для производства интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов
28.99.20.290 Оборудование, исключительно или в основном используемое для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов прочее, не включенное в другие группировки